聚焦離子束掃描電子顯微鏡產品介紹
Scios 2 DualBeam掃描電子顯微鏡產品介紹：
Thermo Scientific Scios 2 DualBeam 是一套超高分辨率的分析 聚焦離子束掃描電子顯微鏡 (FIB-SEM) 系統，可為包括磁性和非導電材料在內的各種樣品提供出色的樣品制備與 3D 表征性能 。Scios 2 DualBeam 通過創新的功能設計提高了通量、精度以及易用性，是滿足科學家和工程師在學術、政府以及工業研究領域高級研究和分析需求的理想解決方案。
Scios 2 DualBeam掃描電子顯微鏡主要特點：
快速便捷地制備高質量TEM樣品
超高分辨率成像
完整的樣品信息
高質量、多模式亞表面和3D信息
精確的樣品導航
無偽影成像和構成圖案
聚焦離子束掃描電子顯微鏡技術參數
電子束分辨率 | 最佳 WD |
在 30 keV STEM 下為 0.7 nm | |
在 1 keV 下為 1.4 nm | |
在 1 keV（射束減速）下為 1.2 nm | |
電子束參數空間 | 電子束電流范圍：1 pA 至 400 nA |
著陸能量范圍：20* eV – 30 keV | |
加速電壓范圍：200 V – 30 kV | |
最大水平射野寬度：7 mm WD 時為 3.0 mm，60 mm WD 時為 7.0 mm | |
可通過標準導航剪輯提供超寬視野 (1×) | |
離子光學系統 | 加速電壓：500 V – 30 kV |
電子束電流范圍：1.5 pA – 65 nA | |
15 位置光闌條 | |
漂移抑制模式，為非導電樣品的標準模式 | |
最小離子源壽命：1,000 小時 | |
離子束分辨率：選擇角方法下 30kV 時為 3.0 nm | |
檢測器 | Trinity 檢測系統（鏡筒內和色譜柱內） |
T1 分段式下鏡筒內檢測器 | |
T2 上鏡筒內檢測器 | |
T3 可伸縮色譜柱內檢測器（可選配） | |
多達 4 個同時檢測的信號 | |
Everhart-Thornley SE 檢測器 (ETD) | |
用于二級離子 (SI) 和二級電子 (SE) 的高性能離子轉換和電子檢測器 (ICE)（可選配） | |
可伸縮、低電壓、高對比度、分段式、固態反向散射電子檢測器 (DBS)（可選配） | |
帶 BF/DF/HAADF 分段的可伸縮 STEM 3+ 檢測器（可選配） | |
查看樣品和腔室的 IR 攝像機 | |
腔室內 Nav-Cam 樣品導航攝像機（可選配） | |
集成的光束電流測量 | |
載物臺和樣品 | 靈活的 5 軸電動平臺： |
XY 范圍：110 mm | |
Z 范圍：65 mm | |
旋轉：360°（無限） | |
傾斜范圍：-15° 至 +90° | |
XY 重復性：3 μm | |
最大樣品高度：與共心點間距 85 mm | |
0° 傾斜時的最大樣品重量：5 kg （包括樣品架） | |
最大樣品尺寸：完全旋轉時 110 mm（也可以是更大的樣品，但旋轉有限） | |
計算中心旋轉和傾斜 |
